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VGT-907FTA 深圳威固特太阳能电池硅片超声波清洗机

产品报价:¥1

更新时间:2018-11-08访问人数: 48次

地:深圳市龙华新区大浪街道华昌路鸿源工业区E栋一楼

厂商性质:生产商牌:

公司名称: 深圳市威固特洗净设备有限公司号:VGT-907FTA



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深圳威固特太阳能电池硅产品特点:
1.人机界面,PLC控制;
2.采用单臂机械手,可灵活调节清洗工艺;
3.各清洗槽设置抛动机构,保证清洗效果;片超声波清洗机

 深圳威固特太阳能电池硅片超声波清洗机

 深圳威固特太阳能电池硅片超声波清洗机

 

型号:VGT-907FTA

产品特点:

1.人机界面,PLC控制;

2.采用单臂机械手,可灵活调节清洗工艺;

3.各清洗槽设置抛动机构,保证清洗效果;

4.采用超声波清洗、鼓所冲洗等工艺;

5.采用28KHZ、40KHZ多频段超声波;

6.全封闭机构,外形美观。

7.设备内部安装有维修照明灯,方便维修。

8.上下料有专用手推车,方便员工操作

应用范围:

1、炉前清洗:扩散前清洗。

2、光刻后清洗:除去光刻胶。

3、氧化前自动清洗:氧化前去掉硅片表面所有的沾污物。

4、抛光后自动清洗:除去切、磨、抛的沾污。

5、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。

6、合金前、表面钝化前清洗:除去铝布线后,表面杂质及光胶残渣

7、离子注入后的清洗:除去光刻胶,SiO2层

8、扩散预淀积后清洗:除去预淀积时的BSG和PSG。

9、外延前清洗:除去埋层扩散后的SiO2及表面污物。

10、CVD后清洗:除去CVD过程中的颗粒。

技术参数:

超声波功率:3.5KW

超声波频率:28,40,60KHZ

换能器数量:7个

电源电压:220V/380V

技术优势:

适用于2”-8”基片的半导体清洗工艺中,有效去除硅/晶片表面的有机物、颗粒、金属杂质、自然氧化层及石英、塑料等附件器皿的污染物,且不破坏晶片表面特性。根据不同清洗工艺配置相应的清洗单元,各部分有独立控制,随意组合


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