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伯东企业（上海）有限公司深圳办事处
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Pfeiffer 普发多级罗茨泵
Pfeiffer 普发多级罗茨泵(干式真空泵)
上海伯东 Pfeiffer 普发多级罗茨泵 (干式真空泵) 为各种应用提供清洁和干燥的真空环境！提供适合清洁制程应用的 ACP 系列多级罗茨泵和 A 100L, ACG 600 G, ACP 120 G 干泵, 适合普通制程应用的 A3P 系列和适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
一、适合清洁制程应用的干泵
气冷型多级罗茨泵 ACP 15, ACP 28, ACP 40 很少需要保养, 适用于分析仪器以及半导体生产和等离子清洗等洁净制程.
| 型号 | 接口尺寸 DN | 极限真空度 mbar | 抽速 | 漏率 | 重量 | |
| 有气镇阀 | 无气镇阀 | m3/h | mbar l/s | kg | ||
| ACP 15 SD | 25 | 0.1 | 3.10-2 | 14 | < 5.10-7 | 23 |
| ACP 28 SD | 25 | 0.1 | 3.10-2 | 27 | < 5.10-7 | 30 |
| ACP 40 SD | 40 | 0.1 | 3.10-2 | 37 | < 5.10-7 | 32 |
SD: 标准版本, 适用于要求清洁无尘且无腐蚀性气体的应用设. 标准泵配有气镇阀, 可以改善小分子气体的抽气能力并避免泵内部冷凝. 三种气镇可选,满足不同应用
G: 抗腐蚀版本, 适用于微量腐蚀性气体, 三个吹扫气体喷嘴可保护低压和高承, 并稀释一定量的腐蚀性气体.
CV: 耐水汽版本, 适用于抽气环境含有水汽的应用, 纯水蒸汽容量扩展至 1,000 g/h
SH: 无氟版本
CP: 气体回收版本, 通入气体必须是清洁, 无尘, 无腐蚀性的气体
紧凑型多级罗茨泵 A 100 L , 用于洁净制程的整体式干泵
| 型号 | 进气口尺寸 DN | 极限压力 hPa | 抽速 | 噪音比 | 重量 |
| m3/h | dB (A) | kg | |||
| A 100 L | 50 | 6.6 X 10-3 | 100 | 58 | 100 |
| A 100L ES | 50 | 7 X 10-4 | 100 | 55 | 100 |
| A 200 L | 50 | 8 X 10-3 | 200 | 58 | 100 |
L: 标准版本 ES: 节能版本
适合工业用途的干泵, ACG 600 G, ACP 120 G, 具有高抽速和低极限压力多级罗茨泵 ACP 120 泵可用于冷冻干燥应用
| 型号 | 连接尺寸 DN | 吹扫流为50 SL/mn 极限压强 | 抽速 | 噪音比 | 重量 |
| Mbar | m3/h | dBA | kg | ||
| ACP 120 | 50 | NA | 95 | < 65 | 205 |
| ACP 120 G | 50 | 3E-2 | 95 | < 65 | 205 |
| ACG 600 G | 100 | 6 X 10-3 | 480 | 68 | 320 |
二、适合普通制程应用的 A3P 系列, 适用于针对中型工艺的高能效技术
具有三款型号可选, 由于产品极大地降低了运营成本, 使其在市场中脱颖而出. 与以往真空泵技术相比, 节约能耗可达 50％, 在工艺适应性方面, 该系列真空泵结合了的技术.此外, 由于产品的结构设计紧凑, 使其与传统的真空泵相比, 可节约高达50％的空间.
三、适合严苛制程应用的 ADH , A4H, A4X 系列.
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