普诺克等离子刻蚀旋片真空机组
东莞市普诺克真空科技有限公司专业设计制造真空机组,公司拥有专业性的设计施工队伍,可以根据客户的不同需求进行设计与组建,同时提供一站式的服务:咨询、设计、安装、现场调试及售后跟踪服务。
罗茨泵真空机组工作性能:
根据各个真空系统工作压力有所不同,在选配机组时必须掌握以下几点:
1. 主泵必须在其较佳工作范围内工作;
2. 主泵或中间泵与前级泵的压缩比不得其超过允许范围;
3. 前级泵与罗茨泵的配比尽可能小,当前级泵性能有所下降时,对系统的抽真空性能不会有大的影响。
真空机组型号表示方法:
J ZJ X 1200-4.4
J:机组
ZJ:主泵是罗茨真空泵
X:前级泵为旋片泵
1200:主泵抽速L/S
4.4:泵抽速配比代号
型号:RVT-RH-602
抽速:550 m3/h
极限压力:4.0x10-1mbar
罗茨泵/旋片泵型号:RV0540/2RH090C
罗茨泵/旋片泵电机功率:2.2 Kw/3.7 Kw
罗茨泵/旋片泵注油量:1.5 L/2.5~4.0 L
罗茨泵/旋片泵冷却方式:水冷/空冷
冷却水温度:5~30℃
水量(出口):4 L/min
排气/进气口径:VG80/VG40
选购件:真空计/变频器;油雾过滤器;电气控制箱
普诺克等离子刻蚀旋片真空机组