气动高真空挡板阀Pneumatic High Vacuum Flapper Valve
GDQ型是通过电磁换向阀改变气路方向,控制执行气缸驱动阀门作启闭运动。GDQ-J/S型高真空气动挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流。GDQ-J/S型高真空气动挡板阀适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。GDQ-J/S型高真空气动挡板阀带反馈信号装置。
GDQ型气动高真空挡板阀主要技术性能 Main Technical Performance
适用范围:Applicability 105~1.3×10-4Pa(轴封为橡胶) ; 105~1.3×10-5Pa(轴封为波纹管)
阀门漏率:Valve Leak Rate ≤1.3×10-4Pa.L/S.(轴封为橡胶) ; ≤1.3×10-5Pa.L/S.(轴封为波纹管)
适用温度:Applicable Temperature -25~+80℃(丁橡胶) ; -30~+150℃(氟橡胶)
气源压力:Annoy pressure 0.4~0.6MPa
真空挡板阀的工作原理是阀板通过阀杆做上下运动而实现密封的。驱使阀杆运动的传动部件有手动、手电两动、气动三种方式。手动传动部件,以螺纹结构为主,也可以采用平凸轮结构。分别为直角式、直通式真空挡板阀结构示意图。手动两用的传动部件,由电动机、蜗轮、蜗杆组成,并装有行程开关。
高真空挡板阀由于具有密封可靠、流导大、安全性好以及可手控、电控、气控等特点,形式多样,规格齐全,公称尺寸DN150~1200,结构合理等,因此,被广泛用于大、中型多种高真空装置的真空系统之中,如用于真空镀膜设备,真空热处理炉、真空钎焊、高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间环模设备等。
GDQ型气动高真空挡板阀主要零件材料 Materials of Main Parts
阀体、阀盖、阀杆:铝合金、碳钢或不锈钢 Body, bonnet and stem: aluminium alloy, carbon steel or stainless steel
密封件:丁橡胶、氟橡胶、波纹管(轴封)。Sealing element: NBR, Viton, bellows(shaft seal)
主要技术性能
Main Technical Performance
适用范围:Applicability 105~1.3×10-4Pa(轴封为橡胶)
105~1.3×10-5Pa(轴封为波纹管)
阀门漏率:Valve Leak Rate ≤1.3×10-4Pa.L/S.(轴封为橡胶)
≤1.3×10-5Pa.L/S.(轴封为波纹管)
适用温度:Applicable Temperature -25~+80℃(橡胶)
-30~+150℃(氟橡胶)