透射电镜原位TEM高温力学测量系统，如本页面您未找到需要的产品，请直接联系客服
同时集成了力学测量模块及MEMS芯片模块，可以在对样品1000 ℃加热的同时进行定量的力学测量。MEMS芯片模块上可以选择加热芯片，也可以选择电学测量芯片。力学测量模块可以选择不同载荷的传感器，满足不同实验需求。
该产品实现了透射电镜中高分辨定量原位高温力学研究。
性能指标
透射电镜指标：
● 兼容电镜型号及极靴；
● 部分型号电镜可选双倾版本，双倾电学测量样品杆Y轴倾角±25°（同时受限于极靴间距）；
力学传感器指标：
● Z大载荷100 mN（可选0.1 mN、1 mN、10 mN、100 mN）；
● 力测量实测噪声优于5nN（0.1 mN Z大载荷时）；
● 力测量实测分辨率优于5 nN（0.1 mN Z大载荷时）；
● 自动测量力-距离曲线，自动保存。
加热指标：
● 温度控制范围：室温至1000 ℃；
● 温度准确度：优于5%；
● 温度稳定性：优于±0.1 ℃。
扫描探针操纵指标：
● 粗调范围：X方向 1.5 mm，YZ 方向2 mm；
● 细调范围：XY 方向20 um，Z 方向 10 um；
● 细调分辨率：XY 方向 0.4 nm，Z 方向 0.2 nm。
产品特色
（1）超大力学测量及温度控制范围；
（2）多场下的力学研究。
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