专用等离子设备 Tetra-2-PC,卷到卷
技术参数:
外壳:
宽 3491 mm、高 1000 mm、深 1278 mm
腔室:
长 1050 mm、∅ 90 mm
腔室容积:
约 2 升
气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
自动化:
卷到卷
参考价 | 面议 |
专用等离子设备 Tetra-2-PC,卷到卷
技术参数:
外壳:
宽 3491 mm、高 1000 mm、深 1278 mm
腔室:
长 1050 mm、∅ 90 mm
腔室容积:
约 2 升
气源:
2 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器:
2 件(分别为 40 kHz)
(可选: 13.56 MHz 或 2.45 GHz)
控制系统:
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
自动化:
卷到卷
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