微纳探针台 ZP3-4

微纳探针台 ZP3-4 可在纳米尺度上对样品和测试设备进行电学表征。

产品参数

探针数量：4个探头，每个探头配备一个三轴探针臂;自由度：每个探头独立驱动（X、Y、Z三自由度）;

运动：压电驱动；

步进速度：2 mm/s（X，Y，Z）；

运动范围：20x20mm（X，Y），10mm（Z）；

运动分辨率：1 nm （X、Y），10nm （Z）；

探针规格：针柄直径为0.51mm（0.020’’）;

产品优势

快速、准确、稳定

ZP3-4微纳探针台包含4个压电三轴探针臂，每个三轴配备1个可拆卸式电学探针接口，可在毫米级

尺度上进行宏观运动并实现纳米尺度上的微观运动。

使用场景多样化

ZP3-4微纳探针台结构紧凑，占用空间小，运动行程大，可匹配各种显微镜样品台，真空室，光学

试验台等工作条件。

完善的技术解决方案

Z P 3 - 4 微 纳 探 针 台 与 尼 康 金 相 显 微 镜 / SR-Scopel集成形成的探针台电学测量系统，为

宏观行程上进行的微观尺度电学及表征测量提供了具体的解决方案。

直观、方便

ZP3-4微纳探针台通过手柄控制，具有多级宏观调速，脉冲运动，以及位移微调功能，宏观运动

速度跨度在5um/s~2mm/s，单点脉冲步进可达300nm以下，微调运动分辨率小于1nm，在显微镜

下操作更直观，方便，准确。

高度集成

ZP3-4微纳探针台电学测量系统，配备完善的光学显微镜模块，配备亮度调节，增益和变焦等功能，

与电脑连接后，可实现图像快照，尺寸测量和标注，视频记录等常规功能。

以上就是为您介绍的ZP3-4 微纳探针台产品，如果想要了解更多产品

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