Low Temperature Chillers半导体冷水机
本设备性能优异，体积小、噪音低、耗电量低、热效率高且可根据需求定制，控制精度可达±0.05℃，适用于温湿度控制良好的环境，具有定时运转、温度补偿、实现自我诊断等功能，且可实现过热、过载、缺水等多重报警功能，远程控制方便，可以实现RS232、RS485、ETH等多种不同通讯方式控制。
Low Temperature Chillers半导体冷水机
应用于半导体行业蚀刻装置，CMP (工艺机械抛光)，实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
温控精度（空载时）±0.05℃
触摸屏操作，人机交互界面
连锁控制、可靠性高
定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能
温度波动小
占地面积小、保护装置
快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产
运行稳定、准确控温
可用选项
省空间、省配线、省配管、省工时、双变频型更节能。
可对应温度稳定性（空载时）±0.05℃。
循环液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去离子水(纯水)
冷却方式：水冷式
应用于半导体行业蚀刻装置，CMP (工艺机械抛光)，实验室精密装置、高精度测试仪器、医美设备、固态激光器、模具温控等。
温控精度（空载时）±0.05℃
触摸屏操作，人机交互界面
连锁控制、可靠性高
定时运转、液面降低、停电复位、防冻功能
温度波动小
占地面积小、保护装置
快速升温/降温、提高生产效率、降低运营成本和保障生产
运行稳定、准确控温
可用选项
省空间、省配线、省配管、省工时、双变频型更节能。
可对应温度稳定性（空载时）±0.05℃。
循环液：氟化液、60%乙二醇水溶液、清水、去离子水(纯水)
冷却方式：水冷式
