青岛芯笙微纳电子科技有限公司，位于青岛市崂山区国际创新园，孵化自山东大学。公司以高端气体质量流量计/控制器（MFC）、薄膜真空计（Vacuum?Gauges）、压力控制器（EPC）等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务，通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段，实现快速发展，助力国家半导体产业的发展。
?????????公司现有发明专利21项，实用新型专利12项，国家一级计量证书、CE认证、TUV?EMC认证、防爆认证等各类证书30余份，从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内知名仪器仪表企业，全力打造国内一流研发团队。
????????公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业，承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构，并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
????????公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米，在青岛、深圳、潍坊等地设有制造基地和研发中心，全面保障产品的高质量、快速出货能力，并提供专业的售前售后服务。
小流量气体流量计（Mass Flow Controller）是基于业内优良的微机电（MEMS）流量传感器芯片技术，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体质量流量控制器产品。
小流量气体流量计介绍：
温度和压力不敏感
超快的响应速度
多种信号输出方式
公司专注于 MEMS 流量传感器芯片、流量计、质量流量控制器、数字风速计等气体流量检测芯片和模组的研发和销售，晶圆制造交由国外晶圆厂代工，封装交由母公司制造平台负责，该平台具有9000平米千级无尘封测车间，具有ISO9001, ISO14001, IATF16949等品质管理和制造认证。相关流量计及控制器产品被广泛应用于气体检漏、气体分析仪、实验室、热氧化炉、扩散炉等领域
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