青岛芯笙微纳电子科技有限公司，位于青岛市崂山区国际创新园，孵化自山东大学。公司以高端气体质量流量计/控制器（MFC）、薄膜真空计（Vacuum?Gauges）、压力控制器（EPC）等半导体核心零部件的研发、生产和销售为主营业务，通过自主创新、产学研合作及成果转化、行业整合等手段，实现快速发展，助力国家半导体产业的发展。
?????????公司现有发明专利21项，实用新型专利12项，国家一级计量证书、CE认证、TUV?EMC认证、防爆认证等各类证书30余份，从核心芯片到模组、算法构建了全链条技术能力。核心研发成员来自新加坡微电子研究院、德国卡尔斯鲁厄理工学院、山东大学、中科院、复旦大学等科研机构以及国内知名仪器仪表企业，全力打造国内一流研发团队。
????????公司获评国家高新技术企业、青岛市“专精特新”企业，承建有青岛市先进传感器重点实验室、青岛市先进气体流量测控技术工程中心、青岛市专家工作站等研发机构，并承担多项科技部重点研发计划、山东省重大创新工程、青岛市重点项目等国家及省部级技术攻关课题。
????????公司现有千级和万级洁净厂房3000余平米，在青岛、深圳、潍坊等地设有制造基地和研发中心，全面保障产品的高质量、快速出货能力，并提供专业的售前售后服务。
环保质量流量控制器(Mass Flow Controller)是基于业内流量传感器芯片，结合高速采样处理技术和数字补偿算法，所开发的一款智能化、高精度的气体质量流量控制器产品。该产品配备有电磁比例阀、316L不锈钢气路座、高精度微机电流量芯片等，具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。在输出方面，带有工业级液晶触控显示屏，具备流量设置、瞬时流量和累积流量显示等功能。输出信号可选择：4-20mA和1-5V模拟信号，以及RS485等数字通信方式。
产品应用于：半导体加工、分析和环保、燃烧控制器、真空技术、表面处理、食品和制药、化工(石化)等过程控制
环保质量流量控制器产品特点：
温度和压力不敏感
高精度及*的零点稳定性
超快的响应速度及稳定时间
良好的重复性和再现性
宽电压输入，多种信号输出方式
采用液晶触控显示和便捷控制
配备比例电磁阀
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