U1510扫描电子显微镜
一、用途
SU1510扫描电子显微镜主机宽度仅为55cm体型小巧,具有3.0nm分辨率的高性能可变压力扫描电镜。 特点 1. 仪器主体比过去减小20%,可以更加自由地选择安装场地。 2. 标配低真空功能,可以对不导电进行无喷涂观察。高低真空转换一键完成。 3. 可载入*大直径153mm,高度为60mm(WD=15mm)的样品,并进行元素分析。 4. 强大的鼠标控制功能,可实现电镜的所有操作。 5. 分子泵真空系统,洁净无污染。 |
二、技术规格
项目 | 内容 |
二次电子分辨率 | 3.0nm(高真空,30kV) |
背散射电子分辨率 | 4.0nm(低真空:6Pa,30kV) |
倍率 | 5~300,000X |
加速電圧 | 0.3~30 kV |
样品台 | X 0~80 mm |
Y 0~40 mm; | |
Z 5~50 mm; | |
T -20°~ 90°; | |
R 360° | |
样品台控制 | 手动(可选:2轴马达) |
*大载入样品尺寸 | 直径:153 mm |
*大观察范围 | 直径:126 mm(XYR并用) |
*大样品高度 | 60 mm(WD=15 mm) |
低真空范围 | 6-270Pa(从菜单设定) |
灯丝 | 预对中钨灯丝 |
物镜光阑 | 4孔可变光阑 |
枪偏压 | 固定比例偏压、手动偏压和自动4偏压 |
检测器 | 二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器 |
EDX分析位置 | WD=15,TOA=35° |
真空系统 | 分子泵1台,机械泵1台 |
安全措施 | 停电,漏电,自动保护 |