● 激光在线能量实时监测
● 4台激光器同步工作
● 隐裂NG前端剔料
● CCD自动矫正定位
● 智能反馈
● 运行稳定,便于维修
| 项目 | 技术参数 |
| 设备型号 | G6009 |
| 激光器 | 1064nm 5W ≤10ps |
| 激光寿命 | ≥20000小时 |
| 平台精度 | 重复精度±0. 5um ，定位精度±1um@20℃ ±1℃ |
| 平台运行速度 | 运行速度800mm/s ，速度1000mm/s |
| 平台运行加速度 | 运行加速度1.8G ，加速度2. 5G |
| 平台切割范围 | 300* 300mm |
| 适应产品尺寸 | 4 -8寸晶圆 |
| 适应材质 | 蓝宝石≤0. 5mm、 玻璃 、石英≤1.2mm |
| 控制及软件 | LASER STUDIO ，集成视觉 、激光和运动 |
| 设备重量 | 2500kg |
