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SEMISTAR-MR124安川机器人

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众川机器人系统工程成立于2017年,注册资本为2000万元人民币,生产面积2500平米。公司位于苏州市吴中经济开发区天鹅荡路27号。公司主营业务为以工业机器人为核心的柔性智能化生产装备的系统集成以及非标自动化设备。为全国制造行业客户提供一站式智能化整体解决方案和交钥匙项目。 公司涉及实施的柔性智能化生产装备系统集成项目主要包括冲压智能化生产线、焊装智能化生产线、机加智能化生产线、装配智能化生产线、一般工业智能化生产线以及汽车零部件非标自动化等。 众川致力于工业智能化非标设备的研制,始终秉着“稳定、实用、优质”的设计理念,应各种需求进行方案设计、研发、试制、优化等一系列缜密工作,以求用我们的设计方案,解决每一位客户的难题。 众川作为拥有智能化集成能力的智能化集成商,与KUKA、ABB、FANUC、KAWASAKI、YASAKAWA等厂家保持着友好的战略联盟。 公司成立至今,一直奉行“追求共赢,以客户为中心,以员工为本,追求员工、公司、客户和社会的共赢。信誉铸就品牌”的企业理念,凭借着自身的技术优势与工程经验,服务于广大客户。
并联机器人
大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率
SEMISTAR-MR124安川机器人 产品信息

大动作范围:EFEM模块移动距离可达4套应用设备,无需使用底架,极大地提高了搬运效率。
高速搬运:300枚/小时
适用:300mm-450mm晶片搬运


项目 规格
机械臂 适用晶体尺寸 300mm(450m)*1
晶体把持方式 真空吸附夹具或边缘夹具
标准边缘效应器长*2 对应345mm@300mm的晶体
驱动轴数 5轴
手臂类型 单臂
动作范围 R轴伸缩*3 1215mm
θ轴回旋 330°
Z轴升降 480mm
B轴回转 440°
最小回转半径*2 510mm
速度*2 伸缩 260°/s
回旋 330°/s
升降 550mm/s
B轴回转 350°/s
线性 2000mm/s
重复定位精度*2 0.1mm(P-P)
质量 66kg
位置调整器 适用晶体尺寸 300mm
晶体把持方式 真空吸附夹具
检出对象 凹槽
晶体材质 珪素*4
晶体边缘检出传感器 LED + CCD线性传感器
动作范围 回旋 无限制
速度(加速/减速时间) 回旋 1000°/s(0.1s/0.1s)
LINEMENT精度 ±0.03°
LINEMENT时间 1.7秒以下
质量 5.8kg
设置环境 洁净等级*5 ISO等级1
使用温度·湿度 20~30℃,35~55%RH(不结露)
保管温度·湿度 0~40℃,35~80%RH(不结露)
标高 表高1000m以下
环境 无爆炸性,腐蚀性,可燃性气体
MCBF 1500次循环以上

*1:本公司标准终端效应器(300mm:边缘把持/真空吸着,450mm:真空吸)
*2:300mm晶体(SEMI规格标准品),当使用本公司标准300mm对应终端校准器时
*3:机械臂回旋中心位置~晶体中心位置(本公司标准300mm对应终端效应器时)
*4:根据SEMI规格为基准的晶体规格。特殊石英晶体请与我司联系。石英晶体也可对应(有业绩)。但是根据石英规格,本公司需要进行评价和调整。
*5:在0.3m/s的流量下,机械臂进行真空吸附

关键词:传感器
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