其步骤为，
（1）切断电源，将真空泵从真空系统上卸下，
（2）用重力法或加压法将脏油放出并收集起来，以免污染环境；
（3）卸下皮带、皮带轮积键（双级旋片真空泵包含皮带）;
（4）先拆低真空端，取下后端盖，再取出低真空转子、旋片及弹簧等；
（5）将前端盖拆下，取出高真空转子、旋片及弹簧等；
（6）取下视镜、排气阀、排气盖等；
（7）将所拆下的金属零件用汽油*清洗干净，并用酒精脱水。橡胶零件可用15％的氢氟化钠水溶掖煮沸去油。对有毛刺或生锈的零部件．可用油石或金相砂纸轻轻地研磨，以去除锈斑和毛刺。清洗后的零部件必须烘干；
（8）装配时，先装后级，将弹簧、旋片托起装入转子内，然后放入真空泵腔．装上前端盖．再装定位销．均匀对称地拧紧螺钉。装配后．应保证转动灵活、均匀。装好前级转子及后端盖后，再装排气阀（排气阀片应贴紧阀座）及其它件，如气镇装置等。
    
    维修真空泵注意事项，真空泵保养知识汇总：
（1）应定期检查油位是否低干油标线。如低干油标线，应及时加油，杏则．会影响真空泵的真空度。油量也不宜过多，否则会引起起动困难，喷油等问题，
（2）应经常注意真空泵运转是否正常，有无特殊声响，机是否超负荷运转，电机积真空泵的温开是否过高等，
（3）用水冷却的真空泵，应防止冷却水中断，真空泵温不得超过70度。若环境温度低干5度，停机后应将真空泵内冷却水放净，以防真空泵体冻裂，
（4）真空泵应经带保持清洁，真空泵上不得放置其它物件，
（5）注意皮带松紧是杏适当．必要时应调整或更换，
（6）应每年定期更换了1~3次真空泵油）
真空熔炼用的机械真空泵，每月可能换油多坎。这是由干真空泵在使用过程中，真空泵油会被灰、水分或其它脏物污染或皂、碳化，影晌真空泵的性能，因此，需要根据具体情况定期换油。
    
    更换真空泵油方法，
（1）重力法　将容器放在放油口下方，旋下放油口螺钉，让真空泵内旧油自动地流到容器里。旧油放尽后，从抽气口注入少量的干净真空泵油（100~500mL），冲洗真空泵腔内部，接着，开动真空泵运转1min左右，再关真空泵，将注入的新油放出。若放出的油仍不干挣，应继续注入新的杂油冲洗，直到干净为止。然后，旋上放油螺钉．拧下加油孔上的螺钉，向真空泵内加入亲的真空泵油，使油面达到油标线，再旋上加油螺钉。
（2）加压法　将容器放在放油口下方，旋下放油口螺钉。关闭抽气口，同时开启真空泵，打开气镇阀和遮盖真空泵的部分排气口，以产生一个足够的内部压强，使脏油迅速地放出。然后，按方法（1）冲洗真空泵腔内部，换新油。