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上海申弘阀门有限公司
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气动高真空挡板阀轴封结构可分为氟橡胶密封和波纹管密封两种,S型为带预抽口的三通型式。气动高真空挡板阀具有常开和常闭功能，可选配磁性开关信号控制和防爆电磁阀及气源处理元件装置。高真空挡板阀适用的工作介质为空气及非腐蚀性气体。
GDQ型是通过电磁换向阀改变气路方向，控制执行气缸驱动阀门作启闭运动。GDQ-J/S型高真空气动挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流。GDQ-J/S型高真空气动挡板阀适用介质为纯净空气和非腐蚀性气体。GDQ-J/S型高真空气动挡板阀带反馈信号装置。
适用范围：Applicability 105～1.3×10-4Pa（轴封为橡胶） ； 105～1.3×10-5Pa（轴封为波纹管）
阀门漏率：Valve Leak Rate ≤1.3×10-4Pa.L/S.（轴封为橡胶） ； ≤1.3×10-5Pa.L/S.（轴封为波纹管）
适用温度：Applicable Temperature -25～+80℃（丁橡胶） ； -30～+150℃（氟橡胶）
气源压力：Annoy pressure 0.4～0.6MPa
真空挡板阀的工作原理是阀板通过阀杆做上下运动而实现密封的。驱使阀杆运动的传动部件有手动、手电两动、气动三种方式。手动传动部件，以螺纹结构为主，也可以采用平凸轮结构。分别为直角式、直通式真空挡板阀结构示意图。手动两用的传动部件，由电动机、蜗轮、蜗杆组成，并装有行程开关。
高真空挡板阀由于具有密封可靠、流导大、安全性好以及可手控、电控、气控等特点，形式多样，规格齐全，公称尺寸DN150～1200，结构合理等，因此，被广泛用于大、中型多种高真空装置的真空系统之中，如用于真空镀膜设备，真空热处理炉、真空钎焊、高真空电子束焊机、离子束刻蚀设备、空间环模设备等。
阀体、阀盖、阀杆：铝合金、碳钢或不锈钢 Body, bonnet and stem: aluminium alloy, carbon steel or stainless steel
密封件：丁橡胶、氟橡胶、波纹管（轴封）。Sealing element: NBR, Viton, bellows（shaft seal）
主要技术性能
Main Technical Performance
适用范围：Applicability 105～1.3×10-4Pa(轴封为橡胶)
105～1.3×10-5Pa(轴封为波纹管)
阀门漏率：Valve Leak Rate ≤1.3×10-4Pa.L/S.(轴封为橡胶)
≤1.3×10-5Pa.L/S.(轴封为波纹管)
适用温度：Applicable Temperature -25～+80℃(橡胶)
-30～+150℃(氟橡胶)
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