美国西特高精度真空计 美国西特高精度真空计760
杨永利 137-（9523）-8735
Setra Model 760 电容压力计是为精确的、可重复的真空测量而设计的压力传感器。满量程范围从 10Torr 到1000Torr。 测 量 单 位 可 以 是 Torr， mbar/hpa， kpa 或psia。 Model 760 的工作电压是 15VDC，输出 0~10VDC或0~5VDC，输出与压力成线性关系，而且与气体成分无关。
电气连接件可以是工业标准 15 针 D 型插座或 6 位接线端子板。采用金属外壳、巨涌和 ESD 抑制元件以及输入输出的 RFI 过滤等技术， Model 760 具有出众的 EMI/RFI 性能。
Model 760 有一个完整的滑面，很容易提供有精确的零点调节和量程调节的多匝电位计。Inconel® 材质适用于全部湿原料所以可测量腐蚀性气体，另外可提供不同类型的压力和真空接头。
Model 760 中高精度的压力传感元件 VactronTM pressuresensor，是在 Setra 砖利技术可变电容传感技术基础上发展来的。在敏感元件*有一个馈入装置组件支持一个邻近膜片后表面的圆电极。电极和膜片在一个低压接近真空的空间内组成了一个可变电容。这一电容的变化被 Setra*的集成电路检测并被转换成高精度的线性直流信号，该集成电路是根据西特砖利技术负荷平衡原理设计的。
Model 760 采用革新的传感设计获得了出色的零点稳定性和大气压非敏感性。 Model 760 传感器包含了不易脆的或合成的部件，形成了与陶瓷式结构相似的电容式压力计。适用于与 Inconel® 或 Inconel/ 不锈钢相容的气体压力范围： 0~10 Torr 至 0~1000Torr，
0~10 mbar/hpa 至 0~1000mbar/hpa
0~2 psia 至 0~20psia，
0~2 kpa 至 0~100kpa
注： Setra 坚持严格的质量标准 ANSI-Z540-1。此产品的
标定源于 NIST
特性
· 高精度：标准 ±0.25% of Reading ，可选 ±0.15%
· 小巧紧凑的结构
· 多种压力连接和电气连接方式
· 符合 CE 标准
出众的 EMI/RFI 性能
耐腐蚀的 Inconel ® 设计
出色的热稳定性
压力范围： 0~10 Torr 至 0~1000Torr，
0~10 mbar/hpa 至 0~1000mbar/hpa
0~2 psia 至 0~20psia，
0~2 kpa 至 0~100kpa
注： Setra 坚持严格的质量标准 ANSI-Z540-1。此产品的
标定源于 NIST。
电压输出MODEL760美国西特SETRA 绝队压力变变送器
电路4线
激励±15VDC,调整范围±5％
输出0-10VDC或0-5VDC
功耗<0.5W(<15mA)
分辨率 无限的，仅受输出噪声的限制（0.01%FS）
耐压 45 psia
时间常数 <20ms
环境参数
工作温度0～+50℃
存储温度-50～+125℃
温度影响
补偿范围0～+50℃(+32～+122℉)
零点漂移±0.005%FS/℃
量程漂移±0.027%RDG/℃
MODEL760的物理参数
壳体铝合金
电气连接15针D型插座或6位螺纹接线端子
压力连接见订购信息
压力介质与InconelRRRRR或Inconel/不锈钢相容的气体.Inconel湿部件仅配0.5管的接头,选择其它的接头增加不锈钢.
重量(约)260克(约9盎司)
零点/满程调节多匝电位计(在滑面底部)
腔体体积<6立方厘米
性能参数
精度A±0.25%ofReading
精度B±0.15%ofReading
耐压45psia
分辨率无限,仅受输出噪声的限制(0.01%FS)
时间常数<20ms
应用
· 半导体过程工具和设备
· 实验室和研究开发
· 实验和测量
· 度量
· 分析化学系统
