高精度全自动电子抗蚀剂在线浓度监测仪 返回列表页

三联测控MS-HD-500型高精度全自动电子抗蚀剂在线浓度监测仪是采用临界角折光检测原理开发的一款在线式、高精度的浓度测量仪器。传感器探头采用先进的光学器件，一体式设计，光电信号直接转换处理，无耗材，免维护，无漂移，可以24小时在线监测液体浓度，可适用于管道安装或灌体壁处的安装，以及其它等多种安装方式。检测不受压力、流速、颜色，浑浊度，气泡，固体颗粒等杂质的影响；具有操作简单方便、维护量少、工作可靠等优点。浓度检测值可现场显示，检测数据可通过4-20mA模拟信号或RS485通讯信号连接PLC与DCS，方便进行自动化控制调节浓度，有效避免人工测量不及时导致浓度出现偏高或偏低的情况；亦可根据客户需求定制系统性解决方案，通过控制单元来实现对执行元器件的动作。例如阀门开度控制调节、加料加水泵阀的开关控制、上下限报警输出控制、数据记录保存追溯等，改变长期以来靠人工测量、人工记录、手工控制的粗放式生产管理方式，杜绝人为控制的浓度失调，保证了工艺过程严格按照工艺方案执行。确保产品品质稳定，提升工作效率、提高企业管理水平和生产工艺控制能力。

电子抗蚀剂（Electron resist）是用于电子束曝光的一种抗蚀剂，属于高分子聚合物，其性能类似于光学曝光中的光致抗蚀剂，即辐照可使其产生化学或物理变化而形成图形。有正性电子抗蚀剂和负性电子抗蚀剂之分。一般，负性电子抗蚀剂的曝光灵敏度比正性电子抗蚀剂的要高得多，但正性电子抗蚀剂的分辨率要高于负性电子抗蚀剂。

MS-HD-500型高精度全自动电子抗蚀剂在线浓度监测仪主要技术参数：

1、出厂校准和自动温度补偿，直接投入使用，无需现场校准

2、测量范围：0.0-51.0%；  折射率1.33300-1.46500    

3、分辨率：浓度 0.1%； 折射率0.00001nD； 温度 0.1℃

4、测量精度：浓度±0.1%；折射率±0.00002nD；温度±0.5℃

5、温度补偿：5-60℃   环境温度：-20.0-60.0℃

6、防护等级：测量部分IP67    耐压：≤1.0MPa

7、测量时间：默认 5 秒测量1次（可设置）    

8、安装方式：螺纹，法兰盘，卡盘等。支持定制。

9、输出： 模拟输出：24V 4-20mA 对应浓度 0.0-51.0%

10、数字输出：RS485（可定制其他输出方式）

11、输入：DC +24V±10%    电流<100mA

12、选购件：自动清洗装置，采用压缩空气或高压水及超声波自动清洗棱镜表面，适用于较脏的液体，防止污垢附着，确保测量精度