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成像范围:≥100 mm*100 mm 扫描步长:1.25 μm 重复定位精度:≤1 μm 样品台可自动进行高度调节,调节范围≥10 mm 样品台水平度可调节 工作模式:运动至位置、连动、点动短行程三维扫描位移台TA-SS1,三维层析成像费飞行时间3D扫描位移台透射反射无损检测便携台式高精度
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