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样品支架用于放置待测样品,探头架设于位移台,位移台由2组位移机构构成,电机控制器分别控制2组位移台移动至设定位置,实现样品扫描,其中X、Y轴位移台用于样品扫描,Z轴位移台用于探头调焦,以实现不同厚度样品测量,位移台可实现太赫兹系统对样品透(反)射成谱、成像。 长行程三维扫描位移台TA-SL1,三维层析成像费飞行时间3D扫描位移台透射反射无损检测长行程高精度
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