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先锋科技（香港）股份有限公司
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单频紫外激光器 IXION-193 SLM是单频二管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换限。中心波长以0.01nm的度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，度可达1pm以保证对激光器调谐的Z大控制。
单频紫外激光器 IXION-193 SLM是单频二管泵浦全固态激光器。用于光学计量、高功率ArF的带宽控制和193nm波长的步进校准。光谱带宽接近理论傅立叶变换限。中心波长以0.01nm的度从190nm到194nm范围可选。系统可选内置高精度光谱仪，度可达1pm以保证对激光器调谐的zui大控制。
单频紫外激光器 IXION-193 SLM典型参数
型 号 | IXION-193 SLM |
波 长 | 193.368 nm |
平均功率 | >10 mW |
脉 宽 | < 10 ns |
脉冲能量 | >1.6 µJ |
重复频率 | 6 kHz |
M2 因子 | < 1.6 |
线 宽 | <120MHz;0.015pm; 0.004cm-1 |
调谐范围 | >80GHz; 10pm;2.6cm-1 |
相干长度 | >1 m |
单频紫外激光器 IXION-193 SLM特点
· 工业级的频率转换，密封封装
· 插槽安装激光二管泵浦
· 优异的TEM00光束形貌
· 脉冲到脉冲之间波动小
· 免维护与热电温控管理
· LabVIEW驱动
· 内置光谱仪用于波长实时控制
单频紫外激光器 IXION-193 SLM应用
· 193 nm波长计量
· 光谱仪校准
· 干涉测量
· 的种子注入
单频紫外激光器 IXION-193 SLM
光谱带宽
脉冲宽度
长时间功率稳定性
光束质量
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