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北京麦迪森科技有限公司
室温自动探针台是高可靠性系统,主要应用在半导体/微电子,电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMs,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域
室温自动探针台是高可靠性系统,主要应用在半导体/微电子, 电子,机电,物理,化学,材料,光电,纳米,微机电/MEMs,生物芯片,航空航天等科学研究领域,以及IC设计/制造/测试/封装、LED、LCD/OLED、LD/PD、PCB、FPC等生产制造领域。
旨在预算与高测量可靠性之间寻求平衡点,该平台配备高精度位移台,可实现X、Y、Z、 R等方向自动调整,各移动轴可实现±0.005mm以下的精度定位,对阵列型测量特征可实现快速准确的测量。经济实用,稳定性强,可升级扩展,操作方便是本产品的核心价值,在各大高校、研究所及半导体行业应用广泛。
产品特征
标配4个探针臂,可提供4-8个探针臂。调节范围50mm*50mm*30mm,调节精度优于5um。每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针。样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆;
显微镜模块:连续变倍单筒显微镜,光学放大倍率:0.5X~5.0X(使用1X附加物镜时), 视频放大倍率约700倍。可选2X附加物镜。分辨率优于2um。全高清数字摄像头,带同轴照明和环形照明,带机械调焦和光学调焦;
样品座采用电机驱动,可实现快速于目镜下寻找样品,调节范围:100mm*100mm*15mm*±180°。
室温自动探针台
室温自动探针台(加磁场)
室温自动探针台产品参数 | |
型号 | TZ-H-06 |
外形 | 444*607*646 |
重量 | 40kg |
XY轴行程定位精度 | ± 0. 005mm |
Z轴行程定位精度 | ± 0. 005mm |
R轴行程定位精度 | ±0.05° |
测试直径 | 6/8/12寸 |
X-Y轴行程 | 100mm |
Z轴行程 | 15mm |
R轴行程 | 360° |
X-Y轴额定速度 | 100mm/s |
Z轴额定速度 | 10mm/s |
R额定速度 | 20°/s |
探针臂调节行程 | X-50mm, Y-50mm, Z-30mm |
探针臂调节精度 | 5um |
探针臂 | 每个探针臂配备一根Triax三同轴低漏电线缆及探针,样品台底座配备额外一根Triax三同轴低漏电线缆 |
显微镜倍率 | 0.5X~5.0X(使用1X附加物镜时) |
地脚 | 底部塑胶减震地脚 |
探针频率 | 26GHz-100GHz(可选) |
以上就是提供的关于室温自动的介绍,探针台型号齐全,,欢迎您询价
PicoFemto探针台产品介绍
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