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天津市拓普仪器有限公司


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TPY-2自动椭圆偏振测厚仪

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产品型号

品       牌

厂商性质其他

所  在  地天津市

更新时间:2022-11-07 09:26:17浏览次数:140次

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产品简介

TPY-2自动椭圆偏振测厚仪

详细介绍



仪器介绍
    TPY-2自动椭圆偏振测厚仪采用消光法自动控制,自动测量薄膜厚度和折射率,具有精度和灵敏度更高等特点。光源采用氦氖激光器,功率稳定、波长精度高。仪器采用USB接口与电脑连接,配套软件功能齐全,具有多样数据采集及处理方式,适用于不同用户的需要。
 
规格参数
测量范围 薄膜厚度范围:1nm-300nm;折射率范围:1-10
测量厚度最小示值(nm ≤1
偏振器方位角范围 0°- 180°读取分辨率为0.05°
偏振器步进角 0.014°/步
测量膜厚(nm ±1
折射率重复性精度 ±0.01
度盘刻度 每格1度
仪器测量精度(nm ±0.5(薄膜厚度在10-100nm时)
入射角调节范围 20°~90°精度为0.05°
入射光波长(nm 632.8
光学中心高(mm 80
允许样品尺寸(mm) φ10-φ140(或任意形状),厚度≤15
外形尺寸(mm) 590*390*320
主机重量(kg 28
 
配置表
基本配置 TPY-2 椭圆偏振测厚仪主机 1台
TPY-2 主机电控箱 1套
  二氧化硅膜样片 1片
TPY-2 椭圆偏振测厚仪专用软件 1套
需另配 计算机及打印机 1套

关键词:测厚仪

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