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上海尔迪仪器科技有限公司
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低温等离子灰化仪PCA系列
Diener Plasma推出低温煤灰化仪 FCA系列 德国
Diener等离子表面处理设备
德国Diener是专门生产经济、可靠的等离子清洗和等离子刻蚀设备的公司,是世界上材料处理低温等离子体设备的市场和技术者。Diener采用*的集成化技术开发生产射频频率为40KHz、80KHz、13.56MHz，以及代表等离子应用技术的2.45GHz的等离子表面处理设备。
目前设备广泛应用于：等离子清洗、刻蚀、灰化、涂镀和表面处理。产品主要分布在真空电子、LED、太阳能光伏、集成电路、生命科学、半导体科研、半导体封装、芯片制造、MEMS器件等领域。其设备生产零件均选用其零件行业的质产品，以保证性能技术稳定。
立足于中国市场需求，Diener推出低温等离子煤化仪PCA系列，共三款设备，满足不同用户的需求。
FCA100半自动控制，发生器13.56MHz/0~100W
FCA200全自动控制，发生器13.56MH 2.45GHz/0~300W，温控系控 单路气体
FCA300全自动控制，发生器13.56MHz 2.45GHz/0~300W，温控系统 双路气体
FCA200/FCA300配备了温控系统，可以保证灰化的同时不破坏煤的内部结构，并且加快了灰化速度。
同时，Diener FCA200/FCA300可设定压力，时间，功率，气体流量，舱体温度等多个参数，可以提供科研人员多种数据。上海尔迪仪器科技有限公司为Diener Plasma中国代理商，详情咨询
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