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上海尔迪仪器科技有限公司
Diener Plasma 研究设备Bell Jar 35 等离子系统
研究设备:Bell Jar 35 等离子系统
Bell Jar 35 等离子设备是一种研究设备,其专为科学试验所研发。该设备即适用于热蒸发、溅射、电子束蒸发、SEM(扫描电子显微镜)样品制备的金属涂层,也适用于传统的等离子体工艺。
基本设备
外壳约宽 560 mm x 高 1640 mm x 深 620 mm
腔室容积:约 35 升
供电电源: 230 V / 16 A
气源
3 个质量流量控制器 (MFCs)
真空腔室
硼硅玻璃材质的玻璃罩
∅ 315 mm x 高 500 mm
溅射源
1 个溅射源 2" - 3" + 挡板
(可为反应过程选配排烟管和进气口)
基材支架
∅ 140 mm (可选择旋转型、基材加热器、基材冷却装置)
可切换为等离子体预处理的电极(清洗、活化、蚀刻)
控制系统
PCCE 控制系统 (Microsoft Windows XPe)
压力测量
Pirani
发生器
频率: | 40 kHz: 功率 0 - 500 W |
13.56 MHz: 功率 0 - 300 W |
直流偏置电源或单极性脉冲
功率 300 W
电压 600 V,直流电
发生器为 0 - 99% 无级可调型
真空泵
规格和制造商均各有不同(按照活性炭过滤器的需要)
其他选项
备件套件、压力计、腐蚀性气体设计结构、气瓶、减压器、加热板、温度显示器、加热型腔室、Faraday Box、等离子体聚合配件、测试墨水、 氧气发生器、慢速通风装置、慢速抽吸装置、TEM样品架法兰、维护/服务、当地语言的文件、现场安装,包括培训。可应要求提供的其他选项。
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