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上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener Special plasma system Tetra-2-PC 型卷到卷等离子设备
专用等离子设备 Tetra-2-PC，卷到卷
技术参数：
外壳：
宽 3491 mm、高 1000 mm、深 1278 mm
腔室：
长 1050 mm、∅ 90 mm
腔室容积：
约 2 升
气源：
2 个由 MFCs 控制的气体通道
发生器：
2 件（分别为 40 kHz）
（可选： 13.56 MHz 或 2.45 GHz）
控制系统：
配有工业现场总线的 PC-控制系统 (Windows)
自动化：
卷到卷
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