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上海尔迪仪器科技有限公司
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Diener Special plasma system Tetra 2000-RF-PC
The production system Tetra 2000, with its 2000-litrechamber volume and PC control, is used in series production (cleaning andactivation).
Special plasma system Tetra 2000-RF-PC
Technical data:
Chamber:
W 1000, H 2000mm, D 1000 mm
Chamber volume:
approx. 2000 litres
Gas supply:
2 gas channels via MFCs
Generator:
1 piece (13.56 MHz)
Parts holding:
Up to 10 productcarriers
Control
PC control (Windows) with industrial field bus
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