货号 | 型号 | X1轴测量范围mm | 备注 | Z2轴垂直行程mm | Y轴工作台装置 | α轴装置 |
525-751* | CS-H4000CNC | 200 | 100V-120V | 300 |
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525-752* | CS-H4000CNC | 200 | 200V-240V | 300 |
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525-753* | CS-H4000CNC | 200 | 100V-120V | 300 | 已安装 | 已安装 |
525-754* | CS-H4000CNC | 200 | 200V-240V | 300 | 已安装 | 已安装 |
技术参数:
X1 轴
测量范围: 100mm
分辨率: 0.00625μm
检测方法: 激光全息光栅尺
驱动速度: 40mm/s (CNC 模式)
0 - 40mm/s (操纵杆控制模式)
测量速度: 0.02 - 0.2mm/s (表面粗糙度)
0.02 - 2mm/s (形状／轮廓)
移动方向: 向前／向后
直线度: (0.05+0.0003L)μm
指示精度 (20° C): ±(0.16+0.001L)μm
L 为驱动长度(mm)
Z1 轴
测量范围: 12mm
分辨率: 0.001μm
测针上／下运作: 弧形运动
检测方法: 激光全息光栅尺
指示精度 (20° C): ±(0.07+I0.02HI)μm
H 为测量高度(mm)
测力: 4mN
跟踪角度: 向上60° 、 向下60°
(取决于表面粗糙度)
测针针尖: 半径: 5μm, 角度： 40°、钻石
(球型测针) (半径: 0.25mm, 蓝宝石)
测针方向: 向下
Z2 轴(立柱)
测量范围: 300mm
分辨率: 0.05μm
检测方法: 反射型线性编码器
驱动速度: 200mm/s (CNC 模式)
0 - 50mm/s (操纵杆控制模式)
基座尺寸(W x D): 600 x 550mm
基座材料: 花岗岩
尺寸 (W x D x H): 600 x 570 x 992mm
重量: 190kg
本机内置Startup 系统 (重新定位检测系统)：
意外震动发生或机器被重新定位时，将停机。
初始安装本机、重新定位本机前，可以提前联系我司咨询。
*产品信息仅供参考，型号和技术参数生产厂家有可能随时更改
