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洁净型直交机器人XY-XC(2～4轴)洁净型直交机器人XY-XC是直交机器人中可以在无尘室使用的机型

详细介绍

洁净型直交机器人 XY-XC(2～4轴)

洁净型直交机器人XY-XC是直交机器人中可以在无尘室使用的机型。

采用耐久性的不锈钢板，使开口部的设计达到min，以少量的吸气即可实现非常高的洁净度。

洁净度：相当于等级10(ISO25644-1)

※每1cf为0.1μm，使用抽风机时。

洁净度：CLASS10

抽吸量：60～90Nℓ/min

大的搬运重量：20kg

高速度可达：1000mm/sec

※用户配线: D-Sub 25PIN 连接器(1-24号已接线、25号为机架地线)

※用户配管: 3根6空气软管

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