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大气机械手SRBJ1A-AS3491

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更新时间：2023-09-11 13:31:13浏览次数：122次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：其他

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产品简介

高洁净等级，高精度，高速传片，耐腐蚀，碰撞保护，Mapping功能，SEMI认证，提供接口及末端定制。

详细介绍

大气机械手广泛用于硅晶圆以及LED蓝宝石基片搬运。手臂采用*的结构加强了手臂的刚性，并有效抑制振动，轻量化设计满足高速要求。本体的制造工艺改进有效降低成本，提升市场竞争力。材料、加工以及表面处理多方面优选，以实现高洁净度。具有多重安全保护功能。肘部和腕部灵活控制，使得机器人可以采用任意姿势来取放晶元，允许更多的片盒直线排布，更节省空间，适应性更强。是半导体行业的优势之选。

更多详情，请单击新松洁净产品资料库

结构形式Mechanical Structure		柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload	名称name	晶圆wafer
	直径diameter	Φ200mm/Φ300mm
	重量weight	≤0.5kg
自由度数DOF		3
回转直径Maximum Swing diameter		520mm
运动范围 Moving Range	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	330mm
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	330°
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	R736mm
速度 Maximum Moving Speed	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	330mm/s
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	360°
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	900mm/s
重复定位精度 Repeatability	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	±0.01°(3σ)
	伸展轴 (R轴) Extension(Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)