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SRBZ820C-SMSX洁净机器人

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更新时间：2023-09-11 13:34:39浏览次数：119次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：其他

商铺产品：131条

所在地区：辽宁沈阳市

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产品简介

磁流体密封、网络化控制器、MCBF大于1000万次，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计具有手臂长度、自由度可选，手指及接口用户可定制的特征，耐腐蚀，动态纠偏和碰撞保护功能。

详细介绍

采用*的磁流体密封技术，具有噪音小、振动小、运行平稳、精度高等特点。具有更灵敏的碰撞保护功能，有效保护机械手和客户晶圆。全新的轨迹规划，提高运动节拍，提高了用户产能。安全区保护等功能有效地提高了产品的安全等级。在半导体前道设备中广泛应用，对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务，快速响应的售后服务，以及敦实的技术实力，是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。

参数：

型号		SRBZ820C-SMSX
密封方式		磁流体密封
自由度数		2
负载	名称	托盘
	直径	Φ330mm
	重量	1.5kg
运动范围	R轴（mm）	立柱中心至R轴伸展处被搬运物体中心距离820
	θ轴（°）	360
全行程最小时间	R轴（s）	2.5
	θ轴（s）	4.8
重复定位精度	θ轴（°）	±0.01（3σ）
	R轴（mm）	±0.1（3σ）
重量	机械手本体	41kg
	控制器	15kg
耐真空度(Pa)		＜5×10^-9 Torr
漏率		＜1×10^-9 std.cc/sec He
碰撞保护		盘片和机械手无损伤
行程		820mm
电源范围电压波动范围		单相交流208V +10%，-15%