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SRBZ1440A洁净机器人

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更新时间：2023-09-11 13:36:02浏览次数：102次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：其他

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产品简介

采用磁流体密封技术，网络化控制系统，具有*的防碰撞保护功能及动态纠偏功能，拥有SEMI认证，MCBF大于1000万次，同时具备超高洁净度，耐高温、耐腐蚀，负载能力强等特点。满足个性化设计支持用户定制，负载、手臂长度可选，可为客户提供接口及末端定制服务。是大负载真空机械手的优越之选。

详细介绍

大负载真空机械手， LED芯片制造领域的真空机械手产品，主要用于LED芯片制造过程中，实现装有大量LED晶圆的托盘在各个工艺腔室间的传送，具有真空度高，负载大，传输效率高，耐高温等特点，大大提高了LED芯片生产制造的良率和效率，是LED芯片制造装备的关键产品。传统的LED芯片制造采用集成电路制造制程应用的真空机械手，其负载能力只有1kg。本产品在集成电路制造用真空机械手的基础上，针对其大负载需求，创新了其传输结构和控制规律，使其能够达到20.5kg的负载能力，同时保持很小的占用体积，保持高耐真空度及洁净等级。

更多详情，请单击新松洁净产品资料库

结构形式Mechanical Structure		柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
驱动方式Driving method		伺服电机Servo Motor
手数量Number of Arm		单臂Single Arm
负载Payload	名称name	托盘Tray
	直径diameter	Φ710mm
	重量weight	≤10.5kg
自由度数DOF		3
手臂长度Arm Length		355mm
手指长度（安装中心至硅片中心） Finger length(distance from install center to wafer center)		765mm
运动范围 Moving Range	Z轴Z-axis	150mm
	R轴，机械手旋转中心至工艺腔中心 R-axis, robot center to process chamber center	极限(Ultimate)1440mm
	θ轴θ-axis	无限回转Infinite Rotation
全行程最小时间 Minimum running time	Z轴Z-axis	1s/35mm
	R轴R-axis	5s/伸出或缩回Extend or Retraction
	θ轴θ-axis	5s/180°
重复定位精度 Repeatability	θ轴（°）θ-Axis	±0.01（3σ）
重复定位精度 Repeatability	R轴（mm）R-Axis	±0.1（3σ）
机械手带φ710mm负载后最小回转直径 Robot minimum turning diameter with Φ 710 mm load		1530mm
伸出1440mm负载直径710mm最前端下垂量 The front sag of robot which out of 1440mm with Φ 710 mm load		5.5mm
重复定位精度Repeatability		±0.2mm
耐真空度Base Pressure (Pa)		10-6Pa
重量Weight	机械手本体Main-body	100kg
重量Weight	控制器Controller	15kg
碰撞保护Collision Protect Function		盘片和机械手无损伤/工位需重新校准 Disc and robot without damage/need to recalibrate position