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Mask Stocker洁净机器人

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更新时间：2023-09-11 13:43:56浏览次数：224次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：其他

商铺产品：134条

所在地区：辽宁沈阳市

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产品简介

Mask case STK，高洁净度，非接触供电，SEMI软件接口，动态纠偏和碰撞保护功能，高可靠性，设备可定制

详细介绍

用于FPD行业Mask case自动化搬送、存储，与曝光机对接。优化结构及气流流场设计，可使洁净度达到ISO Class4等级要求；带有丰富的安全设计和灵敏的碰撞保护功能，有效保护Cassette、人身安全, 提高了产品的安全等级,减少不必要的损失；高刚度、高可靠性设计，保护贵重Mask；标准的SEMI软件接口，可以方便对接面板厂MCS系统，可实时上报系统各种状态数据，实现工厂智能管理；可以根据客户应用的特殊要求，定制设备功能及尺寸。

参数：

设备		Stocker Crane
运动轴		行走 / 提升/ 旋转/ 叉取
有效负载		240kg
控制		PLC
电源供应		HID (CPS)+ECO
电机		伺服电机
行走	速度	66m/min
提升	速度	40m/min
旋转	速度	180°/6s
叉取	上/下料时间	11s
叉取卡夹精度		±2mm