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大气机械手Blade-SD210

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更新时间：2023-09-11 13:54:51浏览次数：166次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：其他

商铺产品：134条

所在地区：辽宁沈阳市

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产品简介

高洁净等级，高速传片，碰撞保护，Mapping，SEMI认证S2，F47，迎合个性化设计手指及接口用户可定制。

详细介绍

耦合传动、伺服驱动、洁净传动及润滑、SCARA手臂结构，具有占用空间小、大伸缩比、高精度、高洁净度等优点。迎合个性化设计，手指及接口用户可定制，网络化控制系统，高效率传片和碰撞保护功能，SEMI认证S2、F47，MCBF大于1000万次。负责完成晶圆在FOUP、缓冲室、工艺位置等之间的自动传送。是半导体行业的*之选择。

参数：

结构形式Mechanical Structure		柱坐标型/SCARA型 Cylindrical Coordinate/SCARA
负载Payload	名称name	晶圆wafer
	直径diameter	2寸/4寸/6寸/8寸/12寸
	重量weight	≤0.5kg
自由度数DOF		5
手数量Number of Arm		2
回转直径Maximum Swing diameter		580mm
运动范围 Moving Range	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	450mm
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	270°
	伸展轴 (R) Extension(R)-Axis	R670mm
节拍 Swap time	升降轴 (Z轴) Up/Down( Z)-Axis	＜1s（Home to Fullextension）
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	0.7s/180°
	伸展轴 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	1.2s/450mm
重复定位精度 Repeatability	升降轴 (Z轴)Up/Down( Z)-Axis	±0.1 mm(3σ)
	回转轴 (T轴) Rotational(T)-Axis	±0.006°(3σ)
	伸展轴 (R1、R2) Extension(R1、R2)-Axis	±0.1 mm(3σ)
洁净度Clean Class		CLASS 1
主机重量Body Weight		60 kg
电源Power Supply		208VAC(50Hz/60Hz)
行程		670mm