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真空机械手PHOENIX-S25

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：其他

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产品简介

直驱电机结构，全新的IO模块，具有*的防碰撞保护功能及输入信号支硬件中断功能，拥有SEMI认证。满足个性化设计支持用户定制，手臂长度可选，可为客户提供接口及末端定制服务。

详细介绍

直驱电机结构具有更高的真空特性，内部结构没有齿轮，皮带等部件，系统运行的平稳性更好，可靠性更高。全新的IO模块，具有更多的输出输入引脚，用户可以根据需求配置成互锁，传感器检测等功能。输入信号支硬件中断功能，。带有安全区配置功能和灵敏的碰撞保护功能，减少用户误操作导致的各种损失。带有大屏幕机器人示教器，方便调试人员使用，并支持热插拔功能。可以根据客户应用的特殊要求，Z轴行程，耐高温耐腐蚀特性等。

参数：

本体重量	50KG
适用晶圆尺寸	300mm/200mm/150mm/100mm
负载	＜500g
电源输入	AC电压:AC208V AC频率：50HZ/60HZ
电源范围电压波动范围	单相交流208V +10%，-15%
节拍	R axis＜3（Home to Extend703mm）
	θ axis＜2.5s(180°)(根据实际摩擦力)
	Z axis＜1.8s（90mm）
重复定位精度	Z: ±0.05mm（3σ）
	T: ±0.003°（3σ）
	R: ±0.05mm（3σ）
漏率	< 1 x 10^-9 std. cc/sec He
真空度	5X10^-9Torr
适用温度	法兰:<120℃;本体:<50℃;手臂:<120℃
行程	R轴703mm Z轴90mm
洁净度	ISO CLASS1
MCBF	>11million cycles
复合运动	支持
PC远程操作软件	支持
通信接口	Ethernet/串口
IO互锁	支持
安全区	支持
碰撞保护	支持