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真空传输平台DIAGRAM 600

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更新时间：2023-09-12 08:46:02浏览次数：297次

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沈阳新松机器人自动化股份有限公司

经营模式：其他

商铺产品：134条

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产品简介

一体化程度高，自动化程度高，拥有新松自主研发的真空机械手，真空预对准装置及晶圆盒真空升降传输装置，带有迎合个性化设计的用户可定制端口；

详细介绍

Diagram600晶圆传输平台，符合集成电路工艺精度和净化要求，并具有高精度、高效率、高洁净度和高可靠性，是链接物料搬运系统与硅片处理系统的桥梁，能够保证硅片在不受污染的条件下被准确安全的传输。在半导体前道设备中广泛应用，对设备可靠性要求高。灵活的本地化、可定制化服务，快速响应的售后服务，以及敦实的技术实力，是我们的主要竞争力。推动了国内半导体产业链的进步，有效的支撑了国内设备商的发展。

参数：

Item	Specification
晶圆类型 Wafer types	SEMI standard silicon wafers
晶圆尺寸Wafer Size	100mm,150mm, 200mm
定位标记 Alignment Mark	Notch & Flat
厚度thickness	150mm wafer: 0.675mm±10%; 200mm wafer: 0.75mm±10%
Cassette类型 Cassette types	configurable for 150mm, 200mm SEMI Standard cassettes.
传输平台 Transport Plane	900 mm at VCE platform(SEMI-std) 1100 mm per SEMI std E21-91 at Process Module side(9.5 mm above slot centerline)
晶圆取放精度 Wafer placement repeatability	0.2mm
真空度Vacuum level	rough pumping: ≤5 mTorr
漏率Leak rate	≤0.5 mTorr/min（Test after 24 hours pump）