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-135℃水汽捕集泵在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。
JJYY-135WL-135℃水汽捕集泵的详细资料: |
-135℃水汽捕集泵 应用原理: 在使用油扩散泵的高真空环境中都存在着一定的残余气体,80%以上是水蒸汽、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽,但其抽除残余气体的能力低,时间长,而且所有残余气体还是工件的污染源,从而使产品的产量和质量受到影响。深冷泵则是解决这类问题的上佳选择。 深冷泵的工作原理:将一个能到-120℃以下的制冷盘管,放置在真空室中或油扩散泵的泵口,通过其表面的低温冷凝效应,迅速捕集真空系统的残余气体。从而大大缩短抽真空的时间(可缩短60-90%的抽气时间)、获得洁净的真空环境(真空度可提高半个数量级,达到10-8 Torr、10-5 Pa)。 -135℃水汽捕集泵在实际应用当中,根据所放的位置不同可以分为两类(见图): 1、水汽捕集器 它的制冷盘管经常被安装在高阀与真空腔之间或真空腔内、卷绕镀膜上下室内等部位。适用于塑料低温镀膜、卷绕镀膜等被镀膜材料放气量较大的场合。盘管需要有加热除霜装置,使盘管每次开门之前恢复到常温,避免低温盘管从大气中吸收大量的水汽而结霜,影响下次抽真空。 2、低温冷阱 放在油扩散泵的泵口,高阀以下,它主要功能是防止油扩散泵返油,同时也可以加快抽速、提高真空度。由于系统处于真空状态,无需除霜装置。 根据需要,二者可以分别安装也可以同时安装. 本公司研发生产的-135℃深冷水汽捕集泵,采用单台压缩机、自动复叠制冷方式、进口压缩机及制冷配件、环保混合型制冷剂生产,替代液氮,节约成本。具有制冷速度快、效率高、温度低、维护方便等特点,其性能指标在国内处于地位,达到甚至超过水平。 -135℃水汽捕集泵主要的性能特点 1、快速吸附水、油蒸汽、可缩短排气时间60-90%; 2、降温迅速,3分钟内制冷到-120℃,zui低可到-150℃; 3、2分钟热气除霜,迅速回温,5分钟可再降温; 4、一台设备可设计两路负载输出; 5、进口压缩机,环保混合型制冷剂; 6、完善的自动化控制; 7、具有两路负载入口和出口温度显示、本机温 度显示; 8、当待机温度到达后有指示灯提示,可以开始制冷; 9、除霜温度自由设定; 10、具有水温温度、排气温度显示; 11、缺水、水温过高报警; 12、压缩机排气过高、压力过高保护; 13、电源断电、缺相报警; 14、可本地、远程控制自由转换; 15、R232计算机数据接口,计算机可读取温度数据及控制。 -135℃水汽捕集泵 -135℃ Water vapor cryopump
冷凝盘管的制作 根据设备的实际情况,我们可以为您制作不同形状的冷凝盘管。 输入、输出的接口 冷凝盘管从真空腔内穿过腔壁时,由于管道温度与腔壁温差较大,如果直接焊接,冷量将会有较大损失,腔壁结霜严重。这就需要一个长约20厘米的薄壁不锈钢管做成的绝热装置来解决,它可以做成活口(见图),也可以不用密封垫,直接焊接到真空腔壁。
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