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飞行时间二次离子质谱仪

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更新时间:2024-02-10 16:28:07浏览次数:107次

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产品简介

飞行时间二次离子质谱仪

详细介绍

性能指标

  1. 质量分辨率:29Si>12000,在m/z>200附近可以达17000以上;
  2. 检测极限:ppm~ ppb级;
  3. 质量范围:~12000;
  4. 检测范围:所有元素(含H、He)及同位素;
  5. 横向分辨率<70nm, 深度分辨率<1nm 

主要应用

  1. 谱图检测、化学成分成像及深度剖析测试,可应用于分析有机、无机、纳米材料(特别是半导体、电池材料)、微电子、生物医学、地质/考古、冶金、环境、人工智能等固体材料。
  2. 纳米尺度下,对固体材料、生物组织或细胞进行化学成像分析;半导体材料痕量杂质分析(ppm至ppb);薄膜样品三维空间尺度化学成分分布及成像。 

样品要求

  1. 不能被测试的样品种类: 放射性的样品;真空中会释放大量气体、尤其释放的气体对不锈钢具有腐蚀性的样品,比如可以释放出HCl+H2O,有化学毒性和生物毒性的样品;低熔点样品,如松香等,高密度束流溅射后可能会熔化;在制样过程中容易快速潮解的样品。
  2. 样品物性/外形/尺寸: (1)固体样品(导体、半导体和绝缘体)。其中薄膜、片状、块体:长×宽尺寸约10 mm × 10 mm~12 mm × 12 mm,厚度不大于5mm; (2)尽量保持样品上下表面平整(尤其待测面,越平整越好); (3)粉末样品压片后送样。压片时使用清洁的铝箔包裹粉末样品,以避免在加压过程样品表面被污染,压片后的尺寸要求见(1)条。 (4)通过溶液涂膜方法制备薄膜样品时,使用表面平整的导体或半导体作为衬底,例如:Si片, 镀金的Si片,或银片等。
  3. 送样时注意事项: (1)送样时,请附上打印的预约单及送样记录单; (2)待测试的样品表面不能被沾污(如手摸拿,碰触污染物等,制样及装样过程中均需注意),所有样品在送样之前必须提前进行真空干燥或者冷冻干燥; (3)样品中不得含有乙酸乙酯、氯仿、二氯甲烷、苯、环己烷、DMSO等有机试剂; (4)易被氧化或易吸水样品,在送样过程中应注意隔离空气(如放保干器, 或高纯Ar气袋 ),或事先与我们联系,商量解决办法; (5)用带盖的玻璃小试管、小容量瓶等容器装样;不要直接使用塑料容器、塑料袋、含硅的胶带或胶面和纸袋,以免硅树脂或纤维污染样品表面。也可以使用干净的铝箔直接包裹样品后放入干净的玻璃器皿中送样; (6)如果高分子材料中含有残余的挥发性有机试剂分子或小分子单体,务必先行在真空烘箱中抽除这些物质。如果样品置入ToF-SIMS预抽真空腔体内,经过一夜抽真空后依然无法抽至1e-7mbar以下,该样品的测试将被取消; (7)对薄膜、片状、块体样品标记出测试面;千万注意:不能使用墨水笔在样品上标记测试面,以免墨水中的有机试剂污染待测样品表面!!!对于金属或半导体,高分子材料片状,建议使用刀片或金刚石刻刀在不测的一面画"+"字; 另外,样品袋上要用标签纸标上预约人姓名; (8)写明分析测试的要求,如待测成分,送样信息等(见送样记录单),如果样品有易变性(如被氧化,吸附等),易熔化等情况应说明清楚(可在送样记录单中说明); (9)初次实验需要决定分析条件情况,送样者若能到场,可能有助于测试的进行。 

 

仪器说明

  1. 仪器名称:飞行时间二次离子质谱仪;
  2. 生产厂家:德国ION-TOF GmbH
  3. 仪器型号:TOF SIMS 5 配备高效电子中和枪,可精确分析绝缘材料;
  4. 分析源配备Bi源分析枪(LMIG)及氩原子团簇离子枪(GCIB),溅射源配备O源、Cs源及GCIB。

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