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苏州多威仪器设备有限公司
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OLYMPUSAL110/MX61产品特性●用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)●用于200mm晶圆传送及检查
OLYMPUS AL110/MX61 产品特性
● 用于100mm/125mm/150mm晶圆传送及检查(ALL110-6)
● 用于200mm晶圆传送及检查,200/150mm晶圆交替检查可能(AL110-8)
● 非接触式对中方式,洁净度提高,减少晶圆污染的可能性
● 灵活的程式设计,最短的搬送时间极大的提高了生产效率
● AL110-12 3--VMM 晶圆自动搬送机台(NEW)
OLYMPUS AL110规格：
| 型号 | 200mm型 | 200/150mm 兼容型 | 100/125/150mm 兼容型 | |||||||||||
| 项目 | L | LM | LB | MB | LMB | L | LM | LB | MB | LMB | L | LM | LMB | |
| 晶圆直径 | 200晶圆边 200mm切口 | √ | √ | |||||||||||
| 150mm晶圆平边 | √ | |||||||||||||
| 100/125/150mm 晶圆平边 | √ | |||||||||||||
| 观察方式 | 连续和采样 | √ | ||||||||||||
| 转换方式 | 正面宏观检测 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | ||
| 背面宏观检测 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | ||||||
| 2次背面检测 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | |||||||
| 表面显微观测 | √ | √ | √ | √ | √ | √ | √ | |||||||
| 适用显微镜 | MX61/MX61L型 | √ | ||||||||||||
| 规格(mm) | 580(W)*580(D)*297(H) | 490(W)*520(D)*297(H) | ||||||||||||
| 重量(kg) | 30 | 32 | 31 | 31 | 33 | 30 | 32 | 31 | 31 | 33 | 26 | 28 | 30 | |
| 能耗 | 电源：AC100-120V0.90A,或AC220-240V0.55A 50/60Hz.真空压力：-67kPa～-80kPa | |||||||||||||
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