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激光扫描共焦显微镜 OLS3000

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更新时间:2025-03-12 10:35:55浏览次数:29次

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产品简介

●高的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米●3D成像,高精度测量,Z轴最小读数精度0.01微米

详细介绍

● 高的分辨率、高精度、XY分辨率可达0.12微米

●3D成像,高精度测量,Z轴最小读数精度0.01微米。

●实时像的获得和测量同时。

●408nm激光采用

 





激光扫描共焦显微镜OLS3000可进行如下检测
 

1)测量
  • 2D测量:测量范围1.5mm~1 μm;
    不仅是线宽度,也能进行圆的直径等几何测量。
  • 3D测量:测量范围1mm~0.5 μm;
    体积、容积、表面积等3D测量;可测量透明膜厚度。
  • 粗糙度分析:于Rz0.1 μm 程度的粗糙度分析;
    是线粗糙度,面粗糙度也能检测。
2)3D形貌
  • 能获得3D色彩等多种多样的信息
  • 等高线显示、网格状显示等方式体现3D信息。
  • 利用微分干涉可识别表面的更加细微的凹凸信息。
3)高分辨率观察
  • 显示器倍率为14,400倍。接近SEM的放大率。
  • 接近SEM的高对比度的解像度。
  • 可以分辨常规显微镜所不能的0.12 μm 的LINE和SPACE
  • 利用微分干涉进一步提高分辨率。
  • 实时观察。
  • 观察范围是2,560X2,560μm

关键词:PA
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