集成矿物分析仪 TIMA3 LMU/LMH

zui重要的特性：

u 通过高水平的SEM和EDX硬件集成实现了快速、*自动化的数据采集；

u 基于VEGA SEM平台；

u 新设计的样品台集成了BSE/EDX校正标准和法拉第杯；

u 根据客户的需求更改样品的尺寸；

u zui多集成4个EDX探测器确保系统的性能zui高；

u 新的Peltier冷却型EDX探测器确保热稳定性；

u 改进的方法使数据分析既快又可靠；

u 根据样品的每个部分可调整扫描和EDX分析的时间；

u 离线数据处理；

u 各种各样的数据分析模块；

u 可自定义的分类规则；

u 可定制的解决方案。

技术参数：

1.分辨率:高真空(二次电子)1.2nm at 30kv，
               (背散射电子):2 nm at 30 kV
         低真空(低真空二次电子)﹕1.5 nm at 30 kV 
2.放大倍数:2 ~ 1000000倍; 
3.真空系统: 低真空7~500Pa
4.加速电压0.2kV to 30Kv 
5.电子束电流2pA~200nA 
6.样品室内部直径：230mm(宽）
7.样品台行程: 
全计算机控制优中心样品台 
X=79mm----马达控制 
Y=29mm----马达控制 
Z=29mm----马达控制