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气相沉积薄膜与基体附着力划痕试验仪

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更新时间：2025-04-15 09:41:59浏览次数：28次

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济南乾元仪器有限公司

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产品简介

根据压头上自动连续增加的垂直载荷，测定划透薄膜并使之从其基体上连续剥离所需要的最小载荷，即薄膜–基体界面附着失效的临界载荷 L C 。测定 L C 的自动划痕试验机的结构原理如图1所示。该仪器由下列主要部件组成： A—压头连续加载电机； B—声发射探头，探测划痕产生的声发射强度并输入微机； C—洛氏硬度

详细介绍

根据压头上自动连续增加的垂直载荷，测定划透薄膜并使之从其基体上连续剥离所需要的最小载荷，即薄膜–基体界面附着失效的临界载荷 L C 。

测定 L C 的自动划痕试验机的结构原理如图1所示。该仪器由下列主要部件组成： A—压头连续加载电机； B—声发射探头，探测划痕产生的声发射强度并输入微机； C—洛氏硬度计标准压头； D—试样台； E—位移电机，用以匀速沿水平方向拖动试样台； F—切向摩擦力传感器，连续检测压头与薄膜之间的摩擦力并输入微机； G—试样台高度升降螺杆； H—加载压力传感器； I—光学显微镜(≥40×)； J—信号放大器； K—变换控制器； L—微型计算机（嵌入式工业电脑），用以实施测试自控和自动处理数据，并动态显示及存贮数据与图形； M—试样； N—CRT 显示器； O—绘图打印机，输出试验结果； P—压头加载机构； Q—主支架。