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上海谨通仪器仪表有限公司
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半导体微量光子检测显微镜微光显微镜是捕获半导体器件缺陷或失效点发射微量光子的一种无损检测设备。在电激励作用下,电子-空穴对或高能热载子以光子的形式释放出多余动能。根据此原理,利用高增益低噪声的相机就能精确定位到缺陷位置。EMMI系统C主要适用于PN结漏电、氧化层崩溃、静电放电破坏、闩锁效应、碰撞电离和雪崩击穿等多种物理场景。
半导体微量光子检测显微镜
半导体微量光子检测显微镜
产品特征参数
软件图像处理功能
8寸高压手动气浮探针台
紫外、可见光、红外显微光学系统
2倍、5倍、10倍、20倍与50倍红外物镜
400 -1000 nm 或900-1700 nm响应波长
支持3000 V高压偏置
相机与源表的一体化控制程序
应用方向
GaN与SiC 基功率器件
的漏电“热点"定位
GaN基LEDs与结型探测
器的漏电“热点"定位
Si基MOSFET与IGBT等功
率器件的漏电失效“热
点"定位
GaAs基激光器光分布与
漏电“热点"定位
常规的器件的静态电学
参数测试。
相关系列有关于芯片失效与缺陷检测都可以联系我司,可看样机测试
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