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等离子灰化机

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等离子灰化机
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更新时间：2025-01-06 11:33:43浏览次数：42次

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产品简介

PDC200/210/510等离子清洗机特点：RIE模式标配(DP切换为选购)等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面

详细介绍

PDC200/210/510
等离子清洗机特点：
RIE模式标配(DP切换为选购)等离子的均应性高操作简单的液晶触摸屏控制面。

等离子清洗机用途：
CSB/BGA/COB基板的等离子处理有机膜和金属氧化膜的除去印刷电路基板的干洗界面活性处理

型号PDC200PDC210PDC510
模式RIE模式（DP选配）DP/RIE切换方式
电极制造平行平板电极（固定）
频率13.56MHz
控制方式自动联动液晶触摸屏控制
反应室材质铝
反应气体2系统(Ar/02)
充填气体N2/洁净干燥空气
反应气体流量控制流量计聚合控制器聚合控制器
真空泵另行选配油回旋真空泵（排气量345L/min）油回旋真空泵（排气量500L/min）
气体导入口反应气体2套、填充气体1套
高频输出功率Max.300WMax.500WMax.500W
温度设定方式用上下键进行数码设定
反应室尺寸（mm）400×250×150400×250×150500×300×200
电极尺寸（mm）250×170250×170400×200
外形尺寸（mm）540×600×600540×600×600700×700×700
电源(50/60Hz)单相AC100V 15A3相AC200V 15A3相AC200V 15A



关键词：流量计 控制器 真空泵

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商铺：https://www.86pla.com/st75798/

主营产品：分析仪


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