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莱丹塑料焊接技术（上海）有限公司
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超紧凑的外形尺寸快速的稳定时间的重复性和精度坚固的设计高量程比的长期稳定性参数单位典型值流量范围sccm0-15,000外形尺寸mm50×52×22（质量流量控制器OEM模块）流量精度±0
超紧凑的外形尺寸
快速的稳定时间< 150 ms
的重复性和精度
坚固的设计
高量程比< 1000:1
的长期稳定性
| 参数 | 单位 | 典型值 |
| 流量范围 | sccm | 0-15,000 |
| 外形尺寸 | mm | 50×52×22（质量流量控制器OEM模块） |
| 流量精度 | ±0.2 % F.S./±1 % O.R. 取较大值 | |
| Repeatability | ±0.015 % F.S./±0.15 % O.R. 取较大值 | |
| Resolution | % F.S. | 0.1 |
| Remarks | 如您需要更为详细的资料，敬请查阅产品相关的技术规格书 | |
Axetris质量流量技术被用于众多行业，广泛应用于气相色谱、泄露检测、热分析、质谱、镀膜技术、等离子技术以及其他众多的领域。
■ 分析仪器
 | | |
气相色谱分析 | 质谱分析 | 原子光谱分析 |
 |  |  |
元素分析 | 热值分析 | 生物反应器和发酵设备 |
■ 工业领域
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泄漏测试 | 薄膜镀层控制 | CO2激光切割 |
■ 医疗领域
 |  |
| 氧气混合设备 | 通风装置及呼吸设备控制 |
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