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赛福仪器承德有限公司
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CIF推出全新一代CPC系列桌面型、可中试生产、模拟生产条件的等离子体清洗设备,几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。具有较大的腔体尺寸和样品处理面积,使用成本低,性价比高,易维护,处理快速高效,特别适合于大学,科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。
产品特点:
PLC工控机控制整个清洗过程,全自动进行。
7寸彩色触摸屏互动操作界面,实时工作参数状态直观显示。
手动、自动两种工作模式。
数字流量计控制,控制更准确。
符合人体功能学的60度倾角操作界面设计,操作方便,界面友好。
顶置真空仓,上开盖设计,下压式铰链开关方式。
上置式360度自由水平取放样品托盘设计,符合人体功能学,操作更方便。
有效处理面积大,可处理8寸硅片去胶等应用。
可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品,进行清洗和改性。
安全保护,仓门打开,自动关闭电源。
技术参数:
型号 | CPC-12 | CPC-12plus |
舱体尺寸 | H120xΦ370mm | H120xΦ370mm |
舱体容积 | 12.8L | 12.8L |
射频电源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自动匹配 | 自动匹配 |
射频功率 | 10-300W可调 | 10-300W可调 |
气体控制 | 质量流量计(MFC)(标配单路,可选双路) | |
处理尺寸 | Φ370mm圆盘 | |
产品尺寸 | L618xW520xH465mm | |
包装尺寸 | L750xW640xH570mm | |
时间设定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速约8m3/h | |
气体稳定时间 | 1分钟 | |
真空度 | 100pa以内 | |
电 源 | AC220V 50-60Hz |
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