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昆山普奥亚光学技术有限公司
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+ 适用于惰性气体离子束刻蚀IBE+ 反应气体离子束刻蚀RIBE+ 化学辅助离子束刻蚀CAIBE+ 良好的一致性,的灵活性, 应用范围广+ 加工重复性好, 运行成本低 在线订购
设备型号 | R-IBE215 | R-IBE450 | ISA200 |
加工范围 | 215mm | 450mm | 200mm |
工件厚度 | 20mm | 50mm | 50mm |
工件重量 | 2Kg | 50Kg | 2Kg |
接触角 | 0-90° | 0-90° | 0-180° |
旋转速度 | 0-10RPM | ||
加工面形 | 凸面,凹面,平面,球面,非球面,自由曲面 | ||
加载过渡舱 | 提供加工过渡舱装置,加载时间<2分钟 | ||
轴数 | 4轴(X,Y,A,B) | 5轴(X,Y,Z,A,B) | 3轴(X,A,B) |
行程 | X>500mm Y=300mm A+/-90° B=360° | X=1100mm Y=300mm Z=300mm A=0-90° B=360° | X=300mm A=0-120° B=360° |
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