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气体质量流量控制器WGLD-380(数字)是热式质量流量计。气体质量流量控制器(Mass Flow Controller,以下简称MFC)可对气体的质量流量进行精密测量和控制。本产品主要应用的行业有材料科学、环境科学、光伏半导体及化工等领域。
产品特点(优势):
本具有稳定可靠、响应时间短、标定精度和重复精度高等优点,安装方便,无安装位置和直管段要求,操作简单,可配合流量显示仪或其他显示仪表使用,也可通过模拟/数字信号转换器(AD/DA转换器)配合计算机使用。
产品参数:
产品名称 | 气体质量流量控制器WGLD-380(数字) | |
基本型号 | WGLD-380 | WGLD-380M |
流量规格①(N2标定) | 0~10,50,100,500 SCCM 0~15,20,25,30 SLM | |
调节阀类型 | 常闭式 | 无 |
量程比 | (2~100)%F.S.[(1~99.9%F.S.)可选] | |
流量分辨率 | 0.1%F.S. | |
准确度 | ±1%F.S. (≤15SLM) ±2%F.S. (>15SLM) | |
重复精度 | ±0.2%F.S. | |
响应时间 | ≤2sec | ≤1sec |
工作压差范围 | 0.05~0.3MPa (<2slm)<> 0.1~0.3MPa (2SLM-10SLM)0.15~0.3MPa (>10SLM) | <2MPa |
至大耐压 | 2MPa | |
工作环境温度 | 5~45°℃ | |
电缆接头 | DB15pin(针形) | |
输入输出信号 | 0~+5.00V(输入阻抗大于100kΩ,输 出电流不大于3mA) RS485 MODBUS | 0~+5.00V(无输入信号,输出电流不 大于3mA) RS485 MODBUS |
供电电源要求 | 15VDC - 24VDC(300mA) | 15VDC - 24VDC(300mA) |
对外单点泄漏率 | ≤1×10-8Pa·m³/S(He) | |
介质接触材质 | 316,316L,密封填料 | |
密封材料 | 氯丁橡胶CR,氟橡胶 FKM | |
管道接头尺寸 | VCR 型接头:1/4" 双卡套型接头:1/4"、1/8"或φ6、φ3mm 内螺纹:9/16-18UNF内螺纹(深度<8mm) | |
净重量 | 1.0kg | 0.8kg |
注1;满量程流量不限于表中列出的流量规格,可以在20SLM~30SLM范围内任选,例如23SLM。 |
产品尺寸:
接线定义:
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