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深圳市圭华智能科技有限公司
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BC激光除膜机
● 激光在线能量实时监测
● 4台激光器同步工作
● 隐裂NG前端剔料
● CCD自动矫正定位
● 智能反馈
● 运行稳定,便于维修
项目 | 技术参数 |
设备型号 | G6009 |
激光器 | 1064nm 5W ≤10ps |
激光寿命 | ≥20000小时 |
平台精度 | 重复精度±0. 5um ,定位精度±1um@20℃ ±1℃ |
平台运行速度 | 运行速度800mm/s ,速度1000mm/s |
平台运行加速度 | 运行加速度1.8G ,加速度2. 5G |
平台切割范围 | 300* 300mm |
适应产品尺寸 | 4 -8寸晶圆 |
适应材质 | 蓝宝石≤0. 5mm、 玻璃 、石英≤1.2mm |
控制及软件 | LASER STUDIO ,集成视觉 、激光和运动 |
设备重量 | 2500kg |
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