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北京锐洁机器人科技有限公司


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系统300片/h

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系统300片/h
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产品型号SORTER SYSTEM

品       牌

厂商性质其他

所  在  地北京市

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北京锐洁机器人科技有限公司

经营模式：其他

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产品简介

系统300片/h

详细介绍

特点

    可实现300片/小时产率的高性能晶圆搬运系统，系统内部使用了本公司设计生产的高性能大气机械手臂和校准器

  • 符合SEMI标准（E15.1-0600, E57-0600, E62-0999, E63-0600, E64-0600）
  • Aligner具有Buffer功能，能够实现晶圆的更换动作，提高了设备的Throughput
  • 配备ID Reader，能够读取晶圆的ID信息（晶圆正反面对应为选配）
  • 上述标准规格之外，以下规格的产品也可以定制
        1. 4 FOUP对向摆放（Throughput为400片/h）
        2. 4 FOUP的inline类型（Throughput为600片/h）

应用设备实例

半导体生产线

规格
对应片盒 300 mm FOUP（25片）
SEMI E47.1，E62标准品
对应晶圆 300 mm 硅片（厚度775 µm）
Throughput* 300片/h
洁净度 ISO标准 Class 2（FFU使用）
外形尺寸* W1250xD2500xH1900
重量* 大约 800 kg
厂务 电源：AC200V±10% 2kVA
干燥空气：0.5MPa±10%
真空：优于-53 kPa

*测试机型：4个FOUP的inline类型（1台洁净机械手臂，1台横向移动装置）

关键词：机械手

或

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商铺：https://www.86pla.com/st79048/

主营产品：洁净机械手臂


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