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储片盒内晶圆的自动搬运系统

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参  考  价面议
具体成交价以合同协议为准

产品型号SSY-20010

品       牌

厂商性质其他

所  在  地北京市

塑料机械网采购部电话:0571-88918531QQ:2568841715

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更新时间:2024-12-19 17:21:30浏览次数:62次

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经营模式:其他

商铺产品:25条

所在地区:北京北京市

联系人:王先生

产品简介

半导体工厂生产线

详细介绍

特点

    可安全准确的搬运储片盒的的薄片。

  • 储片盒和片盒间晶圆的无损伤自动搬运
  • 可选装针对减薄晶圆的伯努利手指
  • 自动识别储片盒内晶圆和垫纸(层间纸)
  • 可自动识别晶圆高度
  • 可满足客户对多个片盒及不同尺寸晶圆传输的需求
  • 搭载储片盒自动开盖机构
  • 可对应Achilles Corporation公司生产的储片盒
  • 配备高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
  • 配备颜色视觉传感器,能够分辨不同颜色的垫片(片间垫纸)

应用设备实例

半导体工厂生产线

规格
可对应片盒的种类 300 mm 储片盒, 300 mm 片盒
被搬运物 300 mm 硅晶圆, 300 mm 储片盒内垫片(片间垫片)
洁净度 配备高效过滤装置(HEPA规格),确保设备内部洁净度
外形尺寸 1350 (宽) x 1434 (深) x 1900 (高)
厂务 电源:AC200V±10%
洁净气源:0.5 MPa 250 NL/min 以上
真空:-70 kPa 以上
重量 450 kg

*我司可以针对客户对晶圆尺寸,储片盒数量,片盒数量,是否需要校准器等不同需求提供定制设计。
  可对应多家厂商规格的储片盒。更多信息请咨询弊司。

关键词:PA 传感器

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